LPCVD扩散炉 Si3N4改造 · 青岛赛尔微电子有限公司

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LPCVD扩散炉 Si3N4改造
作 — ITEM

LPCVD扩散炉 Si3N4改造

¥ 200000.00 / 套
品牌
赛尔微电子
库存
100
供应
青岛赛尔微电子有限公司
所在地
山东省 青岛市
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详细介绍 DETAIL

LPCVD改造翻新是根据客户的要求及现有机台的状况给出##的解决方案，可实现常压扩散炉改为LPCVD，也可实现LPCVD中不同工艺的更换。LPCVD技术指标1工作温度：300～900℃2适用硅片尺寸：

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