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扩散炉 LPCVD翻新 PSG

作 — ITEM

扩散炉 LPCVD翻新 PSG

¥ 200000.00 / 套

品牌: 赛尔微电子
库存: 100
供应: 青岛赛尔微电子有限公司
所在地: 山东省青岛市

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详细介绍 DETAIL

LPCVD改造翻新是根据客户的要求及现有机台的状况给出##的解决方案，可实现常压扩散炉改为LPCVD，也可实现LPCVD中不同工艺的更换。LPCVD技术指标1工作温度：300～900℃2适用硅片尺寸：

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