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扩散炉 LPCVD-SIN扩散炉青岛赛尔程控扩散炉

Name: 青岛赛尔微电子有限公司
Address: 青岛市, 山东省, CN
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¥ 2000000.00 / 套

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详细介绍 DETAIL

LPCVD技术指标1工作温度：300～900℃2适用硅片尺寸：4～6英寸3装片数量：正片100～150片/管4恒温区长度：1000mm5恒温区稳定性：≤±0.5℃6极限真空度：6mTorr7淀积膜均匀

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