扩散炉 氧化扩散炉 程控扩散炉磷扩扩散炉 · 青岛赛尔微电子有限公司
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扩散炉 氧化扩散炉 程控扩散炉磷扩扩散炉
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赛尔微电子
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青岛赛尔微电子有限公司
所在地
山东省 青岛市
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产品概述程控扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。程控扩散炉技术指标1.1工作温度:200~1300℃1.2适用硅片尺寸:4~6
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