北京仕航伟业科技有限公司
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产品详情 产品参数
主要技术指标： 扫描长度：≤30mm； 垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm； 扫描速度：2μm/s到200μm/s； 垂直范围分辨率：2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm； 重复精度：0.
